Sistemi zračnih ležajeva od granita se široko koriste uultraprecizanplatforme za kretanje za proizvodnju poluprovodnika, optičko poravnanje i nanometarsku metrologiju.
Ovi sistemi eliminišu mehanički kontakt korištenjem tankog filma komprimovanog vazduha, postižući kretanje gotovo bez trenja.
Princip zračnog ležaja
Zračni ležajevi rade tako što uvode komprimirani zrak između dvije površine, formirajući zračni film debljine 2-20 μm.
Ovo eliminiše:
- Mehaničko trenje
- Nosite
- Ponašanje pri zaglavljivanju i klizanju
Sistem se oslanja na dinamiku fluidnog filma i stabilan laminarni tok.
Uloga granita
Granit pruža:
- Strukturna stabilnost
- Suzbijanje termalnog drifta
- Prigušivanje vibracija
Služi kao mehanička referentna baza za sistem kretanja.
Komponente sistema
- Granitna baza
- Pločice zračnih ležajeva
- Sistem za dovod zraka
- Precizni enkoderi
- Sistem za kontrolu kretanja
Karakteristike performansi
Tipične performanse uključuju:
- Tačnost pozicioniranja ispod mikrona
- Visoka pravolinijost pri dugim hodovima
- Nula mehaničkog povratnog udara
Ključni izvori grešaka uključuju nestabilnost pritiska vazduha, termalni drift i grešku enkodera.
Aplikacije
- Inspekcija poluprovodničkih pločica
- Litografski sistemi
- Platforme za optičko poravnanje
- Vrhunske metrološke mašine
Često postavljana pitanja
Da li se zračni ležajevi troše?
Nedostatak mehaničkog kontakta eliminira habanje.
Zašto koristiti granit?
Za stabilnost i prigušivanje vibracija.
Šta ograničava tačnost?
Stabilnost zraka i termalni efekti.
Mogu li nositi teške terete?
Da, ovisno o dizajnu.
Vrijeme objave: 03.07.2026.