U ključnoj karici proizvodnje čipova - skeniranju pločica, tačnost opreme određuje kvalitet čipa. Kao važna komponenta opreme, problem termičkog širenja granitne baze mašine privukao je mnogo pažnje.
Koeficijent termičkog širenja granita obično je između 4 i 8×10⁻⁶/℃, što je mnogo niže nego kod metala i mramora. To znači da se pri promjeni temperature njegova veličina mijenja relativno malo. Međutim, treba napomenuti da nisko termičko širenje ne znači da nema termičkog širenja. Pri ekstremnim temperaturnim fluktuacijama, čak i najmanje širenje može utjecati na nanoskalnu tačnost skeniranja pločice.
Tokom procesa skeniranja pločica, postoji više razloga za pojavu termičkog širenja. Temperaturne fluktuacije u radionici, toplota generirana radom komponenti opreme i trenutno visoka temperatura uzrokovana laserskom obradom uzrokovat će da se granitna baza "širi i skuplja zbog promjena temperature". Nakon što baza prođe kroz termičko širenje, pravolinijost vodilice i ravnost platforme mogu odstupiti, što rezultira netačnom putanjom kretanja stola za pločice. Potporne optičke komponente će se također pomjeriti, uzrokujući "odstupanje" skenirajućeg snopa. Kontinuirani rad tokom dužeg vremena također će akumulirati greške, što će tačnost sve više pogoršati.
Ali ne brinite. Ljudi već imaju rješenja. Što se tiče materijala, bit će odabrane granitne žile s nižim koeficijentom toplinskog širenja i podvrgnute tretmanu starenja. Što se tiče kontrole temperature, temperatura radionice se precizno kontrolira na 23±0,5℃ ili čak niže, a za bazu će također biti dizajniran aktivni uređaj za odvođenje topline. Što se tiče strukturnog dizajna, usvajaju se simetrične strukture i fleksibilni nosači, a praćenje u stvarnom vremenu provodi se putem temperaturnih senzora. Greške uzrokovane toplinskom deformacijom dinamički se ispravljaju algoritmima.
Vrhunska oprema, poput ASML litografskih mašina, pomoću ovih metoda održava efekat termičkog širenja granitne baze u izuzetno malom rasponu, omogućavajući tačnost skeniranja pločice da dostigne nanometarski nivo. Stoga, sve dok se pravilno kontroliše, granitna baza ostaje pouzdan izbor za opremu za skeniranje pločice.
Vrijeme objave: 12. juni 2025.