Granitne komponente se široko koriste u procesu proizvodnje poluprovodnika zbog svojih odličnih karakteristika kao što su vrhunska završna obrada površine, visoka krutost i odlično prigušivanje vibracija. Granitne komponente su neophodne za opremu za proizvodnju poluprovodnika, uključujući litografske mašine, mašine za poliranje i metrološke sisteme, jer pružaju precizno pozicioniranje i stabilnost tokom procesa proizvodnje. Uprkos svim prednostima korištenja granitnih komponenti, one također imaju nedostatke. U ovom članku ćemo razmotriti nedostatke granitnih komponenti za proizvode iz procesa proizvodnje poluprovodnika.
Prvo, granitne komponente imaju visok koeficijent termičkog širenja. To znači da se značajno šire pod termičkim naprezanjem, što bi moglo uzrokovati probleme tokom procesa proizvodnje. Proces proizvodnje poluprovodnika zahtijeva visoku preciznost i dimenzijsku tačnost koje bi mogle biti ugrožene zbog termičkog naprezanja. Na primjer, deformacija silicijumske pločice zbog termičkog širenja može uzrokovati probleme s poravnanjem tokom litografije, što bi moglo ugroziti kvalitet poluprovodničkog uređaja.
Drugo, granitne komponente imaju defekte poroznosti koji mogu uzrokovati curenje vakuuma u procesu proizvodnje poluprovodnika. Prisustvo zraka ili bilo kojeg drugog plina u sistemu može uzrokovati kontaminaciju površine pločice, što rezultira defektima koji bi mogli utjecati na performanse poluprovodničkog uređaja. Inertni plinovi poput argona i helija mogli bi prodrijeti u porozne granitne komponente i stvoriti mjehuriće plina koji bi mogli ometati integritet procesa vakuumiranja.
Treće, granitne komponente imaju mikrofrakture koje bi mogle utjecati na preciznost proizvodnog procesa. Granit je krhki materijal koji bi s vremenom mogao razviti mikrofrakture, posebno kada je izložen stalnim ciklusima naprezanja. Prisustvo mikrofraktura može dovesti do dimenzionalne nestabilnosti, uzrokujući značajne probleme tokom proizvodnog procesa, kao što su poravnavanje litografije ili poliranje pločice.
Četvrto, granitne komponente imaju ograničenu fleksibilnost. Proces proizvodnje poluprovodnika zahtijeva fleksibilnu opremu koja bi se mogla prilagoditi različitim promjenama procesa. Međutim, granitne komponente su krute i ne mogu se prilagoditi različitim promjenama procesa. Stoga, bilo kakve promjene u proizvodnom procesu zahtijevaju uklanjanje ili zamjenu granitnih komponenti, što dovodi do zastoja i utiče na produktivnost.
Peto, granitne komponente zahtijevaju posebno rukovanje i transport zbog svoje težine i krhkosti. Granit je gust i težak materijal koji zahtijeva specijaliziranu opremu za rukovanje poput dizalica i dizalica. Osim toga, granitne komponente zahtijevaju pažljivo pakiranje i transport kako bi se spriječila oštećenja tokom transporta, što dovodi do dodatnih troškova i vremena.
Zaključno, granitne komponente imaju neke nedostatke koji bi mogli utjecati na kvalitet i produktivnost proizvoda u procesu proizvodnje poluprovodnika. Ovi nedostaci se mogu minimizirati pažljivim rukovanjem i održavanjem granitnih komponenti, uključujući periodične preglede mikropukotina i nedostataka poroznosti, pravilno čišćenje radi sprječavanja kontaminacije i pažljivo rukovanje tokom transporta. Uprkos nedostacima, granitne komponente ostaju vitalni dio procesa proizvodnje poluprovodnika zbog svoje vrhunske površinske obrade, visoke krutosti i odličnog prigušivanja vibracija.
Vrijeme objave: 05.12.2023.