U preciznom lancu proizvodnje poluprovodnika, sistem za prenos wafera je poput "žile kucavice proizvodne linije čipova", a njegova stabilnost i tačnost direktno određuju stopu prinosa čipova. Nova generacija sistema za prenos wafera revolucionarno kombinuje linearne motore sa granitnim bazama, a jedinstvene prednosti granitnih materijala su upravo ključni kod za otključavanje visokoperformansnog prenosa.
Granitna baza: Izgradnja "čvrstog temelja" za stabilan prijenos
Granit, koji je prošao kroz stotine miliona godina geološkog usavršavanja, odlikuje se gustom i ujednačenom unutrašnjom mineralnom kristalizacijom. Ova prirodna karakteristika čini ga idealnim osnovnim materijalom za sisteme za prenos pločica. U složenom okruženju čistih prostorija za poluprovodnike, granit, sa svojim ultra niskim koeficijentom toplotnog širenja (samo 5-7 ×10⁻⁶/℃), može odoljeti toploti koja se stvara tokom rada opreme i uticaju promjena temperature okoline, osiguravajući stabilnost veličine baze i izbjegavajući odstupanje prenosnog puta uzrokovano toplotnom deformacijom. Njegove izvanredne performanse prigušivanja vibracija mogu brzo apsorbovati mehaničke vibracije nastale tokom pokretanja, gašenja i ubrzavanja linearnih motora, kao i vanjske smetnje uzrokovane radom druge opreme u radionici, pružajući stabilnu platformu sa "nultom podrhtavanjem" za prenos pločica.
U međuvremenu, hemijska stabilnost granita osigurava da ne korodira ili ne hrđa u radionicama za poluprovodnike gdje su kiseli i alkalni reagensi isparljivi i gdje je potrebna visoka čistoća, čime se izbjegava utjecaj na tačnost prijenosa zbog starenja materijala ili adsorpcije zagađivača. Glatke i guste površinske karakteristike mogu efikasnije smanjiti prianjanje prašine, ispunjavajući stroge standarde čistih soba bez prašine i eliminirajući rizik od kontaminacije pločice iz korijena.
Efekat "zlatnog partnerstva" linearnih motora i granita
Linearni motori, sa svojim karakteristikama bez mehaničkog zazora pri prijenosu, velikim ubrzanjem i velikom brzinom odziva, daju prijenosu pločice prednosti "brzog, preciznog i stabilnog". Granitna baza pruža čvrstu i pouzdanu potpornu platformu. Njih dvoje rade zajedno kako bi postigli skok u performansama. Kada linearni motor pokreće nosač pločice da se kreće po granitnoj osnovnoj traci, jaka krutost i stabilnost baze osiguravaju efikasan prijenos pogonske sile motora, izbjegavajući gubitak sile ili kašnjenje prijenosa uzrokovano deformacijom baze.
Vođeni zahtjevima za nanoskalnom preciznošću, linearni motori mogu postići kontrolu pomaka na submikronskom nivou. Visokoprecizne karakteristike obrade granitnih baza (s greškama ravnosti kontroliranim unutar ±1μm) savršeno se podudaraju s preciznom kontrolom linearnih motora, zajednički osiguravajući da je greška pozicioniranja tokom prijenosa pločice manja od ±5μm. Bilo da se radi o brzom premještanju između različite procesne opreme ili preciznom parkiranju za primopredaju pločice, kombinacija linearnih motora i granitnih baza može osigurati "nultu devijaciju i nulti jitter" u prijenosu pločice.
Verifikacija industrijske prakse: Dvostruko poboljšanje efikasnosti i stope prinosa
Nakon nadogradnje svog sistema za prenos pločica, vodeća globalna kompanija za poluprovodnike usvojila je rješenje linearnog motora + granitne baze, što je povećalo efikasnost prenosa pločice za 40%, smanjilo stopu pojave grešaka poput sudara i pomaka tokom procesa prenosa za 85% i poboljšalo ukupnu stopu prinosa čipova za 6%. Iza ovih podataka leži garancija stabilnosti prenosa koju pruža granitna baza i sinergijski efekat velike brzine i preciznosti linearnog motora, što značajno smanjuje gubitke i greške u procesu prenosa pločice.
Od svojstava materijala do precizne proizvodnje, od prednosti u performansama do praktične provjere, kombinacija linearnih motora i granitnih baza redefinirala je standarde sistema za prijenos pločica. U budućnosti, kada tehnologija poluvodiča napreduje prema 3nm i 2nm procesima, granitni materijali će sigurno nastaviti snažno ubrizgavati poticaj razvoju industrije svojim nezamjenjivim prednostima.
Vrijeme objave: 14. maj 2025.