Granitna podloga je važna komponenta u raznim poluprovodničkim uređajima. Kao visoko stabilan i krut materijal, granit se široko koristi kao osnova za opremu za obradu poluprovodnika. Karakterizira ga nizak koeficijent termičkog širenja, visoka dimenzionalna stabilnost i odlična mehanička svojstva. Zbog ovih svojstava, granitna podloga se najčešće koristi u tri različite vrste poluprovodničkih uređaja - metrološkoj opremi, litografskoj opremi i opremi za inspekciju.
Metrološka oprema se koristi za mjerenje i detekciju kritičnih dimenzija poluprovodničkih uređaja. Ona igra ključnu ulogu u održavanju kvaliteta i konzistentnosti procesa proizvodnje poluprovodnika. Metrološka oprema uključuje instrumente kao što su optički mikroskopi, elektronski mikroskopi i mikroskopi atomskih sila (AFM). Budući da performanse ovih mjernih instrumenata zavise od njihove stabilnosti, preciznosti i otpornosti na vibracije, granit je idealan izbor za materijal njihovog ležišta. Ujednačenost i stabilnost granitnog ležišta pružaju stabilnu platformu za instrumente, što povećava njihovu tačnost i pouzdanost.
Litografska oprema se koristi za izradu uzoraka mikročipova na pločici. Proces litografije zahtijeva visok nivo preciznosti i tačnosti kako bi se kreirali složeni sklopovi i poboljšale performanse čipa. Litografska oprema uključuje steper i skener sisteme koji koriste svjetlost za prenos slika na pločicu. Budući da je proces litografije vrlo osjetljiv na vibracije i termičke promjene, visokokvalitetni krevet je neophodan kako bi se osigurala stabilnost i ponovljivost procesa litografije. Granitni kreveti pružaju potrebnu stabilnost i stroge performanse prigušenja vibracija za litografske sisteme. Granitni krevet omogućava steper ili skener sistemu da održava precizne prostorne odnose, osiguravajući visoku tačnost i kvalitet konačnog proizvoda.
Oprema za inspekciju se koristi za otkrivanje bilo kakvih nedostataka u poluprovodničkim uređajima. Oprema za inspekciju uključuje sisteme kao što su laserski skenirajući mikroskopi, elektronski mikroskopi i optički mikroskopi. S obzirom na potrebu da ovi uređaji budu visoko precizni, stabilni i otporni na vibracije, granitne podloge su savršen materijal. Mehanička svojstva i dimenzionalna stabilnost granita pomažu u izolaciji vibracija, što povećava tačnost rezultata opreme za inspekciju.
Zaključno, granitna podloga je ključna za poluprovodničku industriju i široko se koristi u različitim vrstama opreme. Njegova jedinstvena svojstva kao što su dimenzionalna stabilnost, nizak koeficijent termičkog širenja i odlična mehanička stabilnost čine granit idealnim izborom za materijal podloge poluprovodničke opreme. Budući da visokokvalitetna granitna podloga pruža potrebnu stabilnost, preciznost i otpornost na vibracije poluprovodničke opreme, u konačnici poboljšava kvalitet konačnog proizvoda. Stoga će se upotreba granitne podloge u poluprovodničkoj opremi sigurno nastaviti u godinama koje dolaze.
Vrijeme objave: 03.04.2024.