Granitni materijali se široko koriste u industriji poluvodiča zbog svojih odličnih karakteristika, kao što su visoka stabilnost, nisko toplinsko širenje i visoka otpornost na koroziju.Ova svojstva čine granit idealnim materijalom za izgradnju visoko preciznih komponenti u sistemu prijenosa pločica.
U procesu proizvodnje poluvodiča, sistem prijenosa pločica igra ključnu ulogu u transportu pločica kroz različite faze proizvodnog procesa.Preciznost i tačnost su osnovni zahtjevi za ove sisteme jer čak i mala odstupanja mogu ugroziti cijeli proces.Zbog toga komponente u sistemu za prijenos pločica moraju biti izrađene od visokokvalitetnih materijala, a granit ispunjava te kriterije.
Neki dijelovi sistema za prijenos vafla koji su napravljeni od granitnih materijala uključuju:
1. Sto za vakuumsku steznu glavu
Stol za vakuumsku steznu glavu služi za držanje oblatne tokom procesa i mora imati stabilnu površinu kako bi se osiguralo da se oblatna ne ošteti.Granit je idealan materijal za izradu ovog stola jer ima ravnu, neporoznu površinu koja pruža visoku stabilnost i preciznost.Osim toga, granit ima nizak koeficijent toplinske ekspanzije, što ga čini otpornim na promjene temperature koje mogu uzrokovati promjene dimenzija u pločici.
2. Stupanj koji nosi zrak
Stupanj koji nosi zrak se koristi za transport vafla kroz različite faze proizvodnog procesa.Bina je konstruisana da obezbedi kretanje bez trenja, što zahteva visoku preciznost i stabilnost.Granit se koristi u ovoj primjeni jer je čvrst i tvrd kamen, te je otporan na deformacije i habanje tokom vremena.
3. Vodiči za linearno kretanje
Vodilice za linearno kretanje koriste se za vođenje stepena zračnog ležaja i moraju biti precizno pozicionirane kako bi se greške svele na minimum.Granit se koristi za izradu ovog vodiča jer ima odličnu mehaničku stabilnost i čvrstoću.Materijal je također otporan na koroziju, što osigurava dugovječnost sistema vodilica.
4. Metrološka oprema
Metrološka oprema se koristi za mjerenje dimenzija i svojstava vafla tokom procesa proizvodnje.Granit je idealan materijal za izradu ove opreme jer ima visoku krutost, nisku ekspanziju i minimalnu deformaciju pod opterećenjem.Osim toga, termička stabilnost granita osigurava da mjeriteljska oprema ostane stabilna i precizna tokom vremena.
U zaključku, industrija poluprovodnika oslanja se na preciznost i tačnost, a granitni materijali su se pokazali kao vrlo pouzdani i stabilni u procesu proizvodnje.Sa mnogim kritičnim komponentama u sistemu prijenosa pločica koje zahtijevaju visoku stabilnost, preciznost i nisko toplinsko širenje, inženjeri su se okrenuli granitnim materijalima kako bi ispunili ove kritične zahtjeve.
Vrijeme objave: Mar-19-2024