Granitni materijali se široko koriste u industriji poluprovodnika zbog svojih odličnih karakteristika, kao što su visoka stabilnost, nisko termičko širenje i visoka otpornost na koroziju. Ova svojstva čine granit idealnim materijalom za izradu visokopreciznih komponenti u sistemima za prenos pločica.
U procesu proizvodnje poluprovodnika, sistem za prenos pločica igra ključnu ulogu u transportu pločica kroz različite faze proizvodnog procesa. Preciznost i tačnost su osnovni zahtjevi za ove sisteme, jer čak i mala odstupanja mogu ugroziti cijeli proces. Stoga, komponente u sistemu za prenos pločica moraju biti izrađene od visokokvalitetnih materijala, a granit ispunjava te kriterije.
Neki dijelovi sistema za prenos pločica koji su napravljeni od granitnih materijala uključuju:
1. Stol vakuumske stezne glave
Vakuumski stezni sto se koristi za držanje pločice tokom procesa i mora imati stabilnu površinu kako bi se osiguralo da se pločica ne ošteti. Granit je idealan materijal za izradu ovog stola jer ima ravnu, neporoznu površinu koja pruža visoku stabilnost i preciznost. Osim toga, granit ima nizak koeficijent termičkog širenja, što ga čini otpornim na promjene temperature koje bi mogle uzrokovati dimenzionalne promjene pločice.
2. Faza zračnog ležaja
Zračni ležaj se koristi za transport pločice kroz različite faze proizvodnog procesa. Postolje je konstruirano tako da osigura kretanje bez trenja, što zahtijeva visoku preciznost i stabilnost. Granit se koristi u ovoj primjeni jer je krut i tvrd kamen, te je otporan na deformacije i habanje tokom vremena.
3. Vodilice linearnog kretanja
Linearne vodilice se koriste za vođenje platforme sa zračnim ležajem i moraju biti precizno pozicionirane kako bi se greške svele na minimum. Za izradu ove vodilice koristi se granit jer ima odličnu mehaničku stabilnost i čvrstoću. Materijal je također otporan na koroziju, što osigurava dugotrajnost sistema vodilica.
4. Metrološka oprema
Metrološka oprema se koristi za mjerenje dimenzija i svojstava pločice tokom procesa proizvodnje. Granit je idealan materijal za izradu ove opreme jer ima visoku krutost, nisko širenje i minimalnu deformaciju pod opterećenjem. Štaviše, termička stabilnost granita osigurava da metrološka oprema ostane stabilna i tačna tokom vremena.
Zaključno, industrija poluprovodnika oslanja se na preciznost i tačnost, a granitni materijali su se pokazali kao veoma pouzdani i stabilni u proizvodnom procesu. S obzirom na to da mnoge kritične komponente u sistemu za prenos pločica zahtijevaju visoku stabilnost, preciznost i nisko termičko širenje, inženjeri su se okrenuli granitnim materijalima kako bi ispunili ove kritične zahtjeve.
Vrijeme objave: 19. mart 2024.