Granit je tvrd i izdržljiv materijal koji se često koristi u građevinskoj industriji. Međutim, također ima svojstva koja ga čine korisnim u proizvodnji poluprovodnika, posebno u izradi i obradi integriranih kola. Granitne komponente, poput granitnih stolova i granitnih blokova, široko se koriste zbog svoje stabilnosti, ravnosti i niskog koeficijenta toplinskog širenja.
Jedna od primarnih upotreba granitnih komponenti u proizvodnji poluprovodnika je u procesu izrade. Silicijumske pločice, osnovni gradivni blokovi integrisanih kola, moraju se izrađivati s visokom preciznošću i tačnošću. Bilo kakvo izobličenje ili pomjeranje tokom procesa može dovesti do defekata koji mogu uticati na kvalitet i funkcionalnost integrisanih kola. Granitni stolovi, sa svojom visokom stabilnošću i ravnošću, pružaju dobru platformu za opremu za obradu pločica. Također su otporni na termičko širenje i skupljanje uzrokovano zagrijavanjem i hlađenjem potrebnim u procesu.
Granitni blokovi se također koriste u obradi poluprovodnika zbog svoje termičke stabilnosti. Tokom procesa nagrizanja ili taloženja, vrući gasovi ili plazme se koriste za modifikaciju površine silicijumske pločice. Temperatura pločice mora se kontrolisati kako bi se osiguralo da se proces izvodi efikasno i precizno. Granitni blokovi, sa svojim niskim koeficijentom termičkog širenja, pomažu u stabilizaciji temperature pločice, smanjujući rizik od temperaturnih fluktuacija koje bi mogle uticati na kvalitet obrađenog materijala.
Pored procesa proizvodnje i obrade, granitne komponente se također koriste u fazama metrologije i inspekcije proizvodnje poluprovodnika. Metrološka mjerenja se vrše kako bi se osiguralo da veličina, oblik i položaj struktura na pločici budu u okviru potrebnih specifikacija. Granitni blokovi se koriste kao referentni standardi u ovim mjerenjima zbog svoje dimenzionalne stabilnosti i tačnosti. Također se koriste u fazama inspekcije, gdje se kvalitet integrisanih kola provjerava pod velikim uvećanjem.
Sveukupno, upotreba granitnih komponenti u proizvodnji poluprovodnika se povećala posljednjih godina. Potreba za visokom preciznošću, tačnošću i stabilnošću u izradi i obradi integrisanih kola podstakla je proizvođače poluprovodnika da prihvate ove materijale. Jedinstvena svojstva granita, kao što su njegova tvrdoća, stabilnost i nizak koeficijent termičkog širenja, čine ga odličnim izborom za upotrebu u ovim procesima. S kontinuiranim razvojem i poboljšanjem tehnologije poluprovodnika, očekuje se da će upotreba granitnih komponenti u budućnosti još više rasti.
Vrijeme objave: 05.12.2023.