Granit je tvrdi i izdržljiv materijal koji se često koristi u građevinskoj industriji. Međutim, također ima svojstva koja ga čine korisnim u proizvodnji poluvodiča, posebno u izradi i obradi integriranih krugova. Granitne komponente, poput granitnih tablica i granitnih blokova, široko se koriste za svoju stabilnost, ravnost i nizak koeficijent toplotnog proširenja.
Jedna od primarnih korištenja granitnih komponenti u proizvodnji poluvodiča je u procesu izrade. Silicijum vafli, osnovni građevni blokovi integrisanih krugova, moraju se izmišljati s velikom preciznošću i tačnošću. Bilo kakva distorzija ili kretanje tokom procesa može dovesti do oštećenja koji mogu utjecati na kvalitetu i funkcionalnost integriranih krugova. Granitne tablice, sa visokom stabilnošću i ravnom, pružaju dobru platformu za opremu za preradu vafla. Otporni su i na termičko širenje i kontrakcija uzrokovana grijanjem i hlađenjem potrebnim u procesu.
Granitni blokovi također se koriste u preradi poluvodiča za njihovu termičku stabilnost. Tokom procesa jetkanja ili taloženja, vrući gasovi ili plazmi koriste se za izmjenu površine silikonskog vafla. Treba kontrolirati temperaturu vafla kako bi se osiguralo da se postupak provede efikasno i tačno. Granitni blokovi, sa svojim niskim koeficijentom termičkog ekspanzije, pomažu u stabilizaciji temperature rezine, smanjujući rizik od fluktuacija temperature koji mogu utjecati na kvalitetu obrađenog materijala.
Pored procesa izrade i obrade, granitne komponente se koriste i u metrologiji i inspekcijskim fazama proizvodnje poluvodiča. Mjerenja metrologije izvršena su kako bi se osiguralo da su veličine, oblik i položaj struktura na rezinu u traženim specifikacijama. Granitni blokovi koriste se kao referentni standardi u tim mjerenjima zbog svoje dimenzionalne stabilnosti i tačnosti. Koriste se i u inspekcijskim fazama, gdje se kvaliteta integriranih krugova provjerava pod visokim uvećanjem.
Sve u svemu, upotreba granitnih komponenti u proizvodnji poluvodiča porasla je posljednjih godina. Potreba za visokom preciznošću, tačnošću i stabilnošću u izmišljotima i obradi integriranih krugova pokrenula su usvajanje ovih materijala proizvođačima poluvodiča. Jedinstvena svojstva granita, poput njegove tvrdoće, stabilnosti i niskog toplinskog koeficijenta širenja, čine ga odličnim izborom za upotrebu u tim procesima. Sa kontinuiranim razvojem i poboljšanjem poluvodičke tehnologije očekuje se da će upotreba granitnih komponenti rasti dalje u budućnosti.
Vrijeme objavljivanja: dec-05-2023