U oblastima kao što su proizvodnja poluprovodnika i precizni mjerni instrumenti, tačnost preciznih granitnih platformi direktno određuje kvalitet rada opreme. Da bi se osiguralo da tačnost platforme ispunjava standarde, potrebno je uložiti napore iz dva aspekta: detekcija ključnih indikatora i usklađenost sa standardnim normama.
Detekcija ključnog indikatora: Višedimenzionalna kontrola tačnosti
Detekcija ravnosti: Određivanje "ravnosti" referentne ravni
Ravnost je osnovni pokazatelj preciznih granitnih platformi i obično se mjeri laserskim interferometrima ili elektronskim libelama. Laserski interferometar može precizno izmjeriti sitne neravnine na površini platforme emitujući laserski snop i koristeći princip interferencije svjetlosti, s tačnošću koja dostiže submikronski nivo. Elektronska libela mjeri višestrukim pomicanjem i crta trodimenzionalnu konturnu mapu površine platforme kako bi otkrila da li postoje lokalna izbočenja ili udubljenja. Na primjer, granitne platforme koje se koriste u mašinama za poluprovodničku fotolitografiju moraju imati ravnost od ±0,5 μm/m, što znači da razlika u visini unutar dužine od 1 metra ne smije prelaziti pola mikrometra. Samo uz pomoć visokoprecizne opreme za detekciju može se osigurati ovaj strogi standard.
2. Detekcija pravolinijskog kretanja: Osigurajte "pravolinijsko" linearno kretanje
Za platforme koje nose precizne pokretne dijelove, pravolinijost je od vitalnog značaja. Uobičajene metode za detekciju su žičana metoda ili laserski kolimator. Žičana metoda uključuje vješanje visokopreciznih čeličnih žica i poređenje razmaka između površine platforme i čeličnih žica kako bi se odredila pravolinijost. Laserski kolimator koristi linearne karakteristike propagacije lasera za detekciju linearne greške površine instalacije vodilice platforme. Ako pravolinijost ne ispunjava standard, to će uzrokovati pomicanje opreme tokom kretanja, što će uticati na tačnost obrade ili mjerenja.
3. Detekcija hrapavosti površine: Osigurajte "finoću" kontakta
Hrapavost površine platforme utiče na pristajanje komponenti prilikom ugradnje. Općenito, za detekciju se koristi mjerač hrapavosti sa iglom ili optički mikroskop. Instrument tipa igle bilježi promjene visine mikroskopskog profila dodirivanjem površine platforme finom sondom. Optički mikroskopi mogu direktno posmatrati teksturu površine. U visokopreciznim primjenama, hrapavost površine granitnih platformi mora se kontrolisati na Ra≤0,05μm, što je ekvivalentno efektu ogledala, osiguravajući da precizne komponente čvrsto pristaju tokom ugradnje i izbjegavajući vibracije ili pomjeranje uzrokovano prazninama.
Standardi preciznosti slijede: međunarodne norme i internu kontrolu preduzeća
Trenutno se na međunarodnom nivou standardi ISO 25178 i GB/T 24632 obično koriste kao osnova za određivanje tačnosti granitnih platformi, a postoje i jasne klasifikacije za pokazatelje kao što su ravnost i pravolinijost. Osim toga, visokokvalitetna proizvodna preduzeća često postavljaju strože standarde interne kontrole. Na primjer, zahtjev za ravnost granitne platforme fotolitografske mašine je 30% veći od međunarodnog standarda. Prilikom provođenja ispitivanja, izmjerene podatke treba uporediti sa odgovarajućim standardima. Samo platforme koje u potpunosti ispunjavaju standarde mogu osigurati stabilne performanse precizne opreme.
Ispitivanje tačnosti preciznih granitnih platformi je sistematski projekat. Samo strogim testiranjem ključnih pokazatelja kao što su ravnost, pravolinijost i hrapavost površine, te pridržavanjem međunarodnih i poslovnih standarda, može se garantovati visoka preciznost i pouzdanost platforme, postavljajući čvrste temelje za vrhunska proizvodna područja kao što su poluprovodnici i precizni instrumenti.
Vrijeme objave: 21. maj 2025.