U oblasti proizvodnje poluprovodnika, submikronska preciznost je ključ za osiguranje performansi čipa, a granitna baza (ZHHIMG®), sa svojim svojstvima materijala, preciznom obradom i inovativnim dizajnom, postala je ključna garancija za postizanje ove preciznosti.
Sa stanovišta svojstava materijala, crni granit koji je odabrao ZHHIMG® ima gustoću od približno 3100 kg/m³, s gustom unutrašnjom strukturom. Ova visoka gustoća daje mu izvanrednu stabilnost i krutost. Tokom rada poluprovodničke opreme, rotacija motora i kretanje mehaničkih komponenti unutar opreme generirat će vibracije. Granitna baza može efikasno apsorbirati preko 90% energije vibracija, značajno smanjujući utjecaj vibracija na tačnost opreme. U međuvremenu, njegov izuzetno nizak koeficijent toplinskog širenja omogućava mu da održi svoju deformaciju u vrlo malom rasponu kada temperatura okoline fluktuira, pružajući stabilnu podlogu za poluprovodničku opremu i sprječavajući pomicanje komponenti opreme zbog promjena temperature, što bi moglo utjecati na tačnost.
Što se tiče obrade i proizvodnje, fabrika ZHHIMG® koristi međunarodnu naprednu opremu za obradu i ima četiri super velike brusilice (svaka mašina košta preko 500.000 američkih dolara), koje mogu obavljati visokoprecizno brušenje granita. Zahvaljujući CNC obradi sa pet osi i drugim procesima, ravnost baze mašine može dostići nanometarski nivo, pružajući ultra ravnu referentnu površinu za ugradnju poluprovodničke opreme i osiguravajući precizno pozicioniranje svake komponente opreme. Štaviše, radionica sa konstantnom temperaturom i vlažnošću (površine 10.000 kvadratnih metara) pruža stabilno okruženje za obradu. Antivibracioni rovovi oko nje širine 500 mm i dubine 2000 mm, kao i tihe dizalice, efikasno izoluju vanjske vibracijske smetnje i osiguravaju tačnost obrade baze mašine.
Osim toga, ZHHIMG® također ima snažne mogućnosti prilagođavanja. Za posebne zahtjeve poluprovodničke opreme, precizni otvori za ugradnju i kablovski kanali mogu se unaprijed izraditi kako bi se postigla savršena kompatibilnost između opreme i baze. Istovremeno, u kombinaciji sa vrhunskom metrološkom i ispitnom opremom kao što su njemački Mahr minutni mjerač (s tačnošću od 0,5 μm) i švicarska WYLER elektronska libela, baza mašine se strogo pregleda i kalibrira kako bi se osiguralo da svaka baza mašine može ispuniti stroge zahtjeve poluprovodničke opreme za tačnost na submikronskom nivou.
Upravo kombinacija ovih prednosti čini ZHHIMG® granitnu bazu pouzdanim izborom za postizanje submikronske preciznosti u poluprovodničkoj opremi, pomažući proizvodnji poluprovodnika da se kreće prema oblastima veće preciznosti.
Vrijeme objave: 18. juni 2025.