U preciznom svijetu proizvodnje poluprovodnika, nerazorno ispitivanje pločica (wafera) ključna je karika za osiguranje kvalitete čipova. Naizgled beznačajna granitna baza zapravo je "neopjevani heroj" koji određuje tačnost detekcije. Kako to uopće utiče na rezultate ispitivanja? Ovaj članak će provesti detaljnu analizu iz dimenzija kao što su svojstva materijala i strukturni dizajn.
1. Stabilan temelj: Prirodne prednosti granita postavljaju čvrst temelj za preciznost
1. Odlične seizmičke performanse
Tokom rada opreme za nerazorno ispitivanje pločica, rotacija motora i kretanje mehaničkih komponenti generirat će vibracije. Ako se ove vibracije ne efikasno suzbiju, one će ozbiljno utjecati na tačnost ispitivanja. Unutrašnjost granita je usko isprepletena mineralnim kristalima poput kvarca i feldspata. Njegova jedinstvena struktura daje mu prirodni kapacitet apsorpcije vibracija, sposoban da apsorbira preko 90% energije vibracija opreme. Stvarni podaci mjerenja određenog proizvođača poluprovodnika pokazuju da je nakon korištenja granitne baze amplituda vibracija opreme za detekciju smanjena sa 12μm na 2μm, čime se efikasno izbjegava odstupanje signala detekcije uzrokovano vibracijama.
2. Izuzetno nizak koeficijent termičkog širenja
Tokom procesa detekcije, faktori poput zagrijavanja opreme i promjena temperature okoline utjecat će na stabilnost baze mašine. Obični materijali se značajno šire kada se zagrijavaju, ali koeficijent termičkog širenja granita iznosi samo 1/5 od koeficijenta termičkog širenja čelika. Čak i ako temperatura okoline fluktuira za 10℃, njena deformacija se može zanemariti. To omogućava granitnoj bazi da pruži stabilnu referentnu platformu za opremu za inspekciju, osiguravajući da relativni položaj između inspekcijske sonde i pločice ostane tačan u svakom trenutku i izbjegavajući greške u inspekciji uzrokovane termičkom deformacijom.
Drugo, precizan dizajn: Strukturna optimizacija dodatno poboljšava pouzdanost detekcije
Visokoprecizna obrada i garancija ravnosti
Visokokvalitetna granitna baza obrađena je naprednom CNC tehnologijom s pet osi, s ravnošću od ±0,5 μm/m, što pruža ultra-ravnu referencu za instalaciju opreme za inspekciju. Kod inspekcije pločica, vertikalnost i ravnost inspekcijske sonde su ključne za rezultate inspekcije. Visokoprecizna granitna baza može osigurati precizno pozicioniranje sonde, čineći podatke inspekcije tačnijim i pouzdanijim.
2. Prilagođena strukturna adaptacija
Granitne baze mašina mogu se prilagoditi za različitu opremu za nerazorno ispitivanje pločica i zahtjeve procesa. Na primjer, da bi se ispunili zahtjevi opreme za optičku inspekciju za refleksiju svjetlosti, površina baze mašine može se posebno obraditi; Da bi se ispunili zahtjevi za instalaciju ultrazvučne opreme za ispitivanje, baza može biti prefabrikovana sa preciznim instalacijskim otvorima i kablovskim kanalima, što omogućava brzu i tačnu instalaciju opreme i smanjuje odstupanja detekcije uzrokovana greškama pri instalaciji.
Iii. Dugoročna stabilnost: Smanjenje gubitka preciznosti uzrokovanog održavanjem opreme
Granit ima visoku tvrdoću i veliku otpornost na habanje, sa Mohsovom tvrdoćom od 6 do 7, što je tri puta veća otpornost na habanje od običnog čelika. Tokom dugotrajnih inspekcijskih operacija, površina baze mašine nije sklona habanju i uvijek može održati dobro stanje preciznosti. Nasuprot tome, baze napravljene od drugih materijala mogu uzrokovati promjene u referenci instalacije opreme zbog habanja, što utiče na tačnost detekcije i zahtijeva čestu kalibraciju i održavanje. Dug vijek trajanja i visoka stabilnost granitne baze efikasno smanjuju učestalost održavanja opreme i smanjuju rizik od gubitka preciznosti koji se može dogoditi tokom procesa održavanja.
Od otpornosti na udarce, otpornosti na toplotu do preciznog dizajna, svaka karakteristika granitne baze štiti tačnost nerazornih ispitivanja pločica. U današnjoj eri proizvodnje poluprovodnika koja teži vrhunskoj preciznosti, odabir visokokvalitetne granitne baze je kao dodavanje čvrstog sloja osiguranja tačnosti i pouzdanosti rezultata ispitivanja.
Vrijeme objave: 18. juni 2025.