U oblasti inspekcije poluprovodničkih pločica, čistoća okruženja čiste sobe direktno je povezana sa prinosom proizvoda. Kako se preciznost procesa proizvodnje čipova nastavlja poboljšavati, zahtjevi za platforme za nošenje opreme za detekciju postaju sve stroži. Granitne platforme, sa svojim karakteristikama nultog oslobađanja metalnih jona i niskog zagađenja česticama, nadmašile su tradicionalne materijale od nehrđajućeg čelika i postale preferirano rješenje za opremu za inspekciju pločica.
Granit je prirodna magmatska stijena koja se uglavnom sastoji od nemetalnih minerala poput kvarca, feldspata i tinjca. Ova karakteristika mu daje prednost nultog oslobađanja metalnih iona. Nasuprot tome, nehrđajući čelik, kao legura metala poput željeza, kroma i nikla, sklon je elektrohemijskoj koroziji na svojoj površini zbog erozije vodene pare i kiselih ili alkalnih plinova u okruženju čiste sobe, što rezultira taloženjem metalnih iona poput Fe²⁺ i Cr³⁺. Nakon što se ovi sitni ioni vežu za površinu pločice, oni će promijeniti električna svojstva poluprovodničkog materijala u narednim procesima kao što su fotolitografija i nagrizanje, uzrokovati pomak praga napona tranzistora, pa čak i dovesti do kratkih spojeva u kolu. Podaci ispitivanja profesionalnih institucija pokazuju da je nakon što je granitna platforma kontinuirano bila izložena simuliranoj temperaturi i vlažnosti čiste sobe (23±0,5℃, 45%±5% RH) tokom 1000 sati, oslobađanje metalnih iona bilo niže od granice detekcije (< 0,1ppb). Stopa defekata pločica uzrokovanih kontaminacijom metalnim ionima pri korištenju platformi od nehrđajućeg čelika može iznositi i do 15% do 20%.
Što se tiče kontrole kontaminacije česticama, granitne platforme također pokazuju izuzetno dobre rezultate. Čiste sobe imaju izuzetno visoke zahtjeve za koncentraciju suspendovanih čestica u zraku. Na primjer, u čistim sobama ISO klase 1, broj čestica od 0,1 μm dozvoljen po kubnom metru ne prelazi 10. Čak i ako je platforma od nehrđajućeg čelika prošla tretman poliranja, i dalje može proizvesti metalne ostatke ili oksidne naslage koje se ljušte zbog vanjskih sila poput vibracija opreme i rada osoblja, što može ometati optički put detekcije ili ogrebati površinu pločice. Granitne platforme, sa svojom gustom mineralnom strukturom (gustoća ≥2,7 g/cm³) i visokom tvrdoćom (6-7 na Mohsovoj skali), nisu sklone habanju ili lomljenju tokom dugotrajne upotrebe. Izmjerena mjerenja pokazuju da mogu smanjiti koncentraciju suspendovanih čestica u zraku područja opreme za detekciju za više od 40% u poređenju s platformama od nehrđajućeg čelika, efikasno održavajući standarde čistoće.
Pored svojih čistih karakteristika, sveobuhvatne performanse granitnih platformi daleko nadmašuju one od nehrđajućeg čelika. Što se tiče termičke stabilnosti, njihov koeficijent termičkog širenja iznosi samo (4-8) × 10⁻⁶/℃, što je manje od polovine koeficijenta termičkog širenja nehrđajućeg čelika (oko 17×10⁻⁶/℃), što omogućava bolje održavanje tačnosti pozicioniranja opreme za detekciju kada temperatura u čistoj prostoriji fluktuira. Visoka karakteristika prigušenja (omjer prigušenja > 0,05) može brzo ublažiti vibracije opreme i spriječiti podrhtavanje sonde za detekciju. Prirodna otpornost na koroziju omogućava im da ostanu stabilni čak i kada su izloženi fotorezistnim rastvaračima, plinovima za nagrizanje i drugim hemikalijama bez potrebe za dodatnom zaštitom premazom.
Trenutno se granitne platforme široko koriste u naprednim pogonima za proizvodnju pločica. Podaci pokazuju da je nakon usvajanja granitne platforme stopa pogrešnih procjena u detekciji čestica na površini pločice smanjena za 60%, ciklus kalibracije opreme je produžen za tri puta, a ukupni troškovi proizvodnje su pali za 25%. Kako se industrija poluprovodnika kreće prema većoj preciznosti, granitne platforme, sa svojim osnovnim prednostima kao što su nulto oslobađanje metalnih jona i nisko zagađenje česticama, nastavit će pružati stabilnu i pouzdanu podršku za inspekciju pločica, postajući važna snaga koja pokreće napredak industrije.
Vrijeme objave: 20. maj 2025.