U radionici za proizvodnju poluprovodnika, zahtjevi procesa proizvodnje čipova za uslove okoline i tačnost opreme su ekstremni, a svako malo odstupanje može dovesti do značajnog smanjenja prinosa čipa. XYZT platforma za precizno kretanje portala oslanja se na granitne komponente koje sarađuju s drugim dijelovima platforme kako bi izgradile čvrstu osnovu za postizanje nanoskalne tačnosti.
Odlična svojstva blokiranja vibracija
U radionici za proizvodnju poluprovodnika, rad periferne opreme i kretanje osoblja mogu uzrokovati vibracije. Unutrašnja struktura granitnih komponenti je gusta i ujednačena, s prirodnim visokim karakteristikama prigušenja, poput efikasne vibracijske "barijere". Kada se vanjske vibracije prenesu na XYZT platformu, granitna komponenta može efikasno ublažiti više od 80% energije vibracija i smanjiti utjecaj vibracija na tačnost kretanja platforme. Istovremeno, platforma je opremljena visokopreciznim sistemom zračnog plovka, koji radi zajedno s granitnim komponentama. Zračni plovak koristi stabilan plinski film formiran plinom pod visokim pritiskom za ostvarivanje beskontaktnog kretanja ovjesa pokretnih dijelova platforme i smanjenje malih vibracija uzrokovanih mehaničkim trenjem. Zajedno, to dvoje osigurava da se tačnost pozicioniranja platforme uvijek održava na nanometarskom nivou u ključnim procesima kao što su litografija čipa i nagrizanje, te izbjegava odstupanja uzoraka kola čipa uzrokovana vibracijama.
Odlična termička stabilnost
Fluktuacija temperature i vlažnosti u radionici ima veliki utjecaj na tačnost opreme za proizvodnju čipova. Koeficijent termičkog širenja granita je vrlo nizak, uglavnom 5-7 ×10⁻⁶/℃, a veličina se gotovo ne mijenja kada se temperatura promijeni. Čak i ako temperaturna razlika između dana i noći u radionici ili proizvodnja toplote opreme uzrokuje fluktuacije temperature okoline, granitne komponente mogu ostati stabilne kako bi se spriječila deformacija platforme usljed termičkog širenja i skupljanja. Istovremeno, inteligentni sistem za kontrolu temperature opremljen platformom prati temperaturu okoline u realnom vremenu, automatski podešava klimatizaciju i opremu za odvođenje toplote i održava temperaturu radionice na 20°C ±1°C. U kombinaciji s prednostima termičke stabilnosti granita, osigurava se da platforma u dugotrajnom radu, tačnost kretanja svake ose uvijek ispunjava nanometarske standarde preciznosti za proizvodnju čipova, kako bi se osigurala tačna veličina litografskog uzorka čipa, a ujednačena dubina nagrizanja.
Zadovoljite potrebe čistog okoliša
Proizvodni pogon poluprovodnika mora održavati visok stepen čistoće kako bi se spriječilo zagađenje čipa česticama prašine. Sam granit ne proizvodi prašinu, a površina je glatka i ne upija lako prašinu. Platforma u cjelini ima potpuno zatvorenu ili poluzatvorenu strukturu kako bi se smanjio ulazak vanjske prašine. Unutrašnji sistem cirkulacije zraka povezan je sa sistemom za čistu klimatizaciju radionice kako bi se osiguralo da čistoća unutrašnjeg zraka dostigne nivo potreban za proizvodnju čipova. U ovom čistom okruženju, granitne komponente neće uticati na performanse zbog erozije prašine, a ključne komponente poput visokopreciznih senzora i motora platforme također mogu stabilno raditi, pružajući kontinuiranu i pouzdanu garanciju nanoskalne tačnosti za proizvodnju čipova i pomažući industriji poluprovodnika da pređe na viši nivo procesa.
Vrijeme objave: 14. april 2025.