U proizvodnji poluprovodnika, fotolitografska mašina je ključni uređaj koji određuje preciznost čipova, a granitna baza, sa svojim višestrukim karakteristikama, postala je neizostavna komponenta fotolitografske mašine.
Termička stabilnost: "Štit" protiv temperaturnih promjena
Kada je fotolitografska mašina u radu, ona generiše veliku količinu toplote. Čak i temperaturna fluktuacija od samo 0,1℃ može uzrokovati deformaciju komponenti opreme i uticati na tačnost fotolitografije. Koeficijent termičkog širenja granita je izuzetno nizak, samo 4-8 ×10⁻⁶/℃, što je približno 1/3 od čelika i 1/5 od legure aluminija. Ovo omogućava granitnoj bazi da održi dimenzionalnu stabilnost kada fotolitografska mašina radi dugo vremena ili kada se temperatura okoline mijenja, osiguravajući precizno pozicioniranje optičkih komponenti i mehaničkih struktura.
Super antivibracijske performanse: "Spužva" koja apsorbira vibracije
U fabrici poluprovodnika, rad okolne opreme i kretanje ljudi mogu generirati vibracije. Granit ima visoku gustoću i tvrdu teksturu, te odlična svojstva prigušenja, s omjerom prigušenja 2 do 5 puta većim od metala. Kada se vanjske vibracije prenose na granitnu podlogu, trenje između unutrašnjih mineralnih kristala pretvara energiju vibracija u toplinsku energiju za disipaciju, što može značajno smanjiti vibracije u kratkom vremenu, omogućavajući fotolitografskoj mašini da brzo obnovi stabilnost i izbjegne zamućenje ili neusklađenost fotolitografskog uzorka zbog vibracija.
Hemijska stabilnost: "Čuvar" čistog okoliša
Unutrašnjost fotolitografske mašine dolazi u kontakt s raznim hemijskim medijima, a obični metalni materijali su skloni koroziji ili oslobađanju čestica. Granit se sastoji od minerala poput kvarca i feldspata. Ima stabilna hemijska svojstva i jaku otpornost na koroziju. Nakon namakanja u kiselim i alkalnim rastvorima, površinska korozija je izuzetno mala. U međuvremenu, njegova gusta struktura gotovo da ne stvara ostatke ili prašinu, ispunjavajući zahtjeve najviših standarda čistih soba i smanjujući rizik od kontaminacije pločica.
Prilagodljivost obrade: "Idealan materijal" za kreiranje preciznih referentnih vrijednosti
Osnovne komponente fotolitografske mašine moraju biti instalirane na visokopreciznoj referentnoj površini. Unutrašnja struktura granita je ujednačena i lako se obrađuje do izuzetno visoke preciznosti brušenjem, poliranjem i drugim tehnikama. Njegova ravnost može doseći ≤0,5μm/m, a hrapavost površine Ra je ≤0,05μm, što pruža preciznu osnovu za instalaciju komponenti kao što su optička sočiva.
Dug vijek trajanja i bez održavanja: "Oštri alati" za smanjenje troškova
U poređenju sa metalnim materijalima koji su skloni zamoru i pucanju tokom dugotrajne upotrebe, granit se pod normalnim opterećenjima teško plastično deformiše ili lomi, i ne zahtijeva površinsku obradu, čime se izbjegava rizik od ljuštenja premaza i kontaminacije. U praktičnoj primjeni, nakon mnogo godina upotrebe, ključni pokazatelji performansi granitne baze i dalje mogu ostati stabilni, smanjujući troškove rada i održavanja opreme.
Od termičke stabilnosti, otpornosti na vibracije do hemijske inertnosti, višestruke karakteristike granitne baze savršeno ispunjavaju zahtjeve fotolitografske mašine. Kako se proces proizvodnje čipova nastavlja razvijati prema većoj preciznosti, granitne baze će nastaviti igrati nezamjenjivu ulogu u oblasti proizvodnje poluprovodnika.
Vrijeme objave: 20. maj 2025.