U oblastima precizne proizvodnje i naučnih istraživanja, ravnost preciznih granitnih platformi je ključni pokazatelj za osiguranje tačnosti opreme. U nastavku slijedi detaljan uvod u nekoliko glavnih metoda detekcije i njihove procedure rada.
I. Metoda detekcije laserskim interferometrom
Laserski interferometar je preferirani alat za visokoprecizno otkrivanje ravnosti. Uzmimo za primjer laserski interferometar ZYGO GPI XP, čija rezolucija može doseći 0,1 nm. Prilikom provođenja detekcije, prvo se izvor svjetlosti interferometra poravna s platformom i površina platforme se podijeli na područja mreže dimenzija 50 mm × 50 mm. Nakon toga, podaci o interferencijskim prugama su prikupljeni tačku po tačku, a podaci su prilagođeni i analizirani korištenjem Zernikeovog polinoma kako bi se dobila greška ravnosti. Ova metoda je primjenjiva na visokoprecizne platforme i može otkriti greške ravnosti od ≤0,5 μm/m². Obično se koristi u detekciji fotolitografskih mašina i vrhunskih platformi trokoordinatnih mjernih mašina.
II. Metoda elektronskog nivelmanskog niza
Detekcija pomoću elektronskog nivelira je jednostavna za rukovanje i veoma efikasna. TESA A2 elektronski nivelir (rezolucije 0,01 μm/m) je odabran i raspoređen u nizu 9×9 duž pravca X/Y ose platforme. Sinhronim prikupljanjem podataka o nagibu svakog nivoa, a zatim korištenjem metode najmanjih kvadrata za izračunavanje, može se precizno dobiti vrijednost ravnosti. Ova metoda može efikasno identificirati lokalne uvjete konkavnosti i konveksnosti platforme. Na primjer, može se detektovati i fluktuacija od 0,2 μm unutar raspona od 50 mm, što je pogodno za brzo otkrivanje u masovnoj proizvodnji.
Iii. Metoda optičkog ravnog kristala
Metoda optičkog ravnog kristala pogodna je za detekciju platformi male površine. Optički ravni kristal čvrsto pričvrstite na površinu koja se testira na platformi i posmatrajte interferencijske pruge formirane između njih pod osvjetljenjem monohromatskog izvora svjetlosti (kao što je natrijumska lampa). Ako su pruge paralelne ravne pruge, to ukazuje na dobru ravnost. Ako se pojave zakrivljene pruge, izračunajte grešku ravnosti na osnovu stepena zakrivljenosti pruge. Svaka zakrivljena pruga predstavlja visinsku razliku od 0,316 μm, a podaci o ravnosti mogu se dobiti jednostavnom konverzijom.
Četiri. Metoda inspekcije trokoordinatne mjerne mašine
Trokoordinatna mjerna mašina može postići visokoprecizna mjerenja u trodimenzionalnom prostoru. Postavite granitnu platformu na radni sto mjerne mašine i koristite sondu za ravnomjerno prikupljanje podataka sa više mjernih tačaka na površini platforme. Sistem mjerne mašine obrađuje i analizira ove podatke kako bi generirao izvještaj o ravnosti platforme. Ova metoda ne samo da može detektovati ravnost, već i istovremeno dobiti druge geometrijske parametre platforme, te je pogodna za sveobuhvatno otkrivanje velikih granitnih platformi.
Savladavanje ovih metoda detekcije može vam pomoći da precizno procijenite ravnost precizne granitne platforme i pružite pouzdanu garanciju za stabilan rad precizne opreme.
Vrijeme objave: 29. maj 2025.