Revolucija preciznosti u proizvodnji poluprovodnika: Kada se granit susreće s mikronskom tehnologijom
1.1 Neočekivana otkrića u nauci o materijalima
Prema izvještaju SEMI International Semiconductor Association iz 2023. godine, 63% naprednih svjetskih fabrika počelo je koristiti granitne baze umjesto tradicionalnih metalnih platformi. Ovaj prirodni kamen, koji potiče od kondenzacije magme duboko u Zemlji, prepisuje historiju proizvodnje poluprovodnika zbog svojih jedinstvenih fizičkih svojstava:
Prednost termičke inercije: koeficijent termičkog širenja granita od 4,5 × 10⁻⁶/℃ je samo 1/5 koeficijenta termičkog širenja nehrđajućeg čelika, a dimenzijska stabilnost od ±0,001 mm se održava u kontinuiranom radu litografske mašine.
Karakteristike prigušivanja vibracija: koeficijent unutrašnjeg trenja je 15 puta veći od onog kod lijevanog željeza, efikasno apsorbirajući mikrovibracije opreme
Priroda nulte magnetizacije: potpuno eliminira magnetsku grešku u laserskom mjerenju
1.2 Putovanje metamorfoze od rudnika do fabrike
Uzimajući ZHHIMG-ovu inteligentnu proizvodnu bazu u Shandongu kao primjer, komad sirovog granita treba proći kroz:
Ultraprecizna obrada: petoosni obradni centar za 200 sati kontinuiranog glodanja, hrapavost površine do Ra0,008μm
Tretman umjetnog starenja: 48 sati prirodnog oslobađanja od naprezanja u radionici s konstantnom temperaturom i vlagom, što poboljšava stabilnost proizvoda za 40%
Drugo, razriješite šest problema preciznosti u proizvodnji poluprovodnika "kameno rješenje"
2.1 Shema smanjenja stope fragmentacije pločice
Demonstracija slučaja: Nakon što je ljevaonica čipova u Njemačkoj usvojila našu granitnu platformu s plinskim plutajućim sustavom:
| Prečnik pločice | smanjenje brzine čipa | poboljšanje ravnosti |
| 12 inča | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 inča | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Šema probijanja tačnosti litografskog poravnanja
Sistem kompenzacije temperature: ugrađeni keramički senzor prati oblik platformi u realnom vremenu i automatski podešava nagib platforme.
Izmjereni podaci: pri fluktuaciji od 28℃±5℃, tačnost ugradnje varira manje od 0,12μm
Vrijeme objave: 24. mart 2025.